真空燒結(jié)爐結(jié)構(gòu)上要滿足哪些要求呢 　　真空燒結(jié)爐是指使粉末壓坯通過燒結(jié)獲得所需的物理、力學(xué)性能以及微觀結(jié)構(gòu)的專用設(shè)備。燒結(jié)爐用于烘干硅片上的漿料、去除漿料中的有機成分、完成鋁背場及柵線燒結(jié)。為了保證粉末壓坯在燒結(jié)過程中的脫蠟(潤滑劑或成形劑)、還原、合金化、組織轉(zhuǎn)變等順利進行，燒結(jié)時需要對燒結(jié)溫度、保護氣氛、壓坯傳送方式、加熱和冷卻速度等進行精確的控制。 　　因此，真空燒結(jié)爐在結(jié)構(gòu)上應(yīng)滿足以下要求： 　　(1)具有完善的潤滑劑燒除裝置(俗稱脫蠟帶)。 　　(2)具有氣密性，即能隔絕爐外空氣并保證爐內(nèi)保護氣氛暢通。 　　(3)爐內(nèi)的各段溫度可控，燒結(jié)氣氛可調(diào)。 　　(4)具有快速冷卻裝置，可將燒結(jié)零件快速冷卻到出爐溫度而不會氧化。 　　真空燒結(jié)爐使用的注意事項 　　(1)當(dāng)使用氫氣或分解氨時，要先通入氮氣，在確保爐中的空氣完全被排出時，才能通電升溫，以防止打鳴和爆炸。 　　(2)對鉬絲作加熱元件的燒結(jié)爐，在通電前爐體中應(yīng)通入保護氣體，以防止鉬絲氧化而脆斷。 　　(3)真空燒結(jié)爐爐門及氣體排出口應(yīng)點明火燒除，以防止氧氣進入或氫氣排出而發(fā)生爆炸危險和煤氣中毒危險。 　　(4)若電熱元件為鐵鉻鋁電阻絲，在升溫至1100℃時應(yīng)停留一段時間(30min左右)再升溫，以防止電阻絲表面溫度過高而損壞。 　　(5)在升溫前和操作中應(yīng)不時檢查氣流、水流是否符合要求，以及檢查設(shè)備、電和爐溫的控制儀表是否正常。 　　(6)停爐前應(yīng)先斷電，在爐溫降到200℃以下時再停氣和停水。 　　(7)除了因維修要停真空燒結(jié)爐爐外，要避免頻繁停爐。燒結(jié)爐的頻繁開停，會造成加熱元件易于老化，耐火材料易于碎裂，爐內(nèi)氣氛不純，爐溫容易波動等弊端。

　　真空熔煉爐基本的操作步驟 　　真空熔煉爐利用電極電弧產(chǎn)生的高溫熔煉礦石和金屬的電爐。氣體放電形成電弧時能量很集中，弧區(qū)溫度在3000℃以上。對于熔煉金屬，電弧爐比其他煉鋼爐工藝靈活性大，能有效地除去硫、磷等雜質(zhì)，爐溫容易控制，設(shè)備占地面積小，適于優(yōu)質(zhì)合金鋼的熔煉。 　　真空熔煉爐主要分為三個部分，抽真空部分，熔煉部分和吸鑄部分，其基本原理是利用爐體內(nèi)和銅模具之間的壓力差將坩堝中的液態(tài)金屬壓入到銅模中，利用循環(huán)水冷卻和銅良好的散熱性達到使液態(tài)金屬快速冷卻凝固，制備非晶態(tài)合金，其基本的操作步驟如下： 　　準(zhǔn)備階段 　　1. 打開爐體，將坩堝與兩極清洗干凈，用吹風(fēng)機吹干。 　　2. 將待熔煉金屬放入坩堝中，關(guān)閉爐體，均勻擰緊各緊固件。檢查各設(shè)備各個閥門處于關(guān)閉狀態(tài)。 　　3. 打開電源總閘，循環(huán)水閥門;依次打開真空熔煉爐設(shè)備上循環(huán)水電源開關(guān)，電源開關(guān)，待設(shè)備運行穩(wěn)定。打開控制柜***下方的分子泵電源開關(guān)。 　　抽真空階段 　　1. 設(shè)備穩(wěn)定后，打開爐體閥門與機泵開關(guān)電源，按紅色指示器按鈕(名稱)啟動壓力顯示 屏，進行***級抽真空。 　　2. 在設(shè)備抽真空的過程中利用擰緊扳手均勻擰緊爐體蓋上各個緊固件及爐體下部的密封 件。 　　3. 等爐體內(nèi)壓力達到初級設(shè)定之后(此時左側(cè)顯示屏顯示數(shù)字)，依次打開分子泵閥門， 分子泵開關(guān);關(guān)閉爐體閥門，關(guān)閉機泵開關(guān)，利用分子泵進行第二級抽真空。 　　4. 等真空熔煉爐爐體內(nèi)壓力達到設(shè)定之后(此時右側(cè)側(cè)顯示屏顯示數(shù)字)，依次關(guān)閉分子泵閥門， 分子泵按鈕開關(guān)，關(guān)閉紅色指示器按鈕(名稱)。設(shè)備抽真空完畢。 　　5. 打開放氣閥門向抽完真空的爐體內(nèi)沖入高純氬氣到一個大氣壓左右。 　　6. 重復(fù)1-3步驟2到3次保證真空甩帶爐爐體內(nèi)不含有殘留空氣。