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氣相沉積爐計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)使用說明
發(fā)布時(shí)間:2016-11-11   瀏覽:3104次

  氣相沉積爐計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)要如何使用呢?今天,洛陽八佳電氣科技股份有限公司就來跟大家簡單的說一說使用方法及注意事項(xiàng)。

  首先,氣相沉積爐主體內(nèi)有加熱室,水冷電極,測溫?zé)犭娕?,這些都是處理工件的核心的部分。而為混氣罐,由1只電動(dòng)蝶閥、2只浮子流量計(jì)和4只不銹鋼手動(dòng)截止閥這三部分七小塊組成,負(fù)責(zé)氬氣和丙烷的混氣配比,以及向沉積爐內(nèi)定量輸送工作氣體。

  其次,沉積爐還具有2臺(tái)滑閥泵,注意是負(fù)責(zé)氣相沉積爐內(nèi)的空氣及工作廢氣的排除等,這使得爐子可以工作在恒定的壓力范圍之內(nèi)。2臺(tái)過濾罐,主要是負(fù)責(zé)滑閥泵前級(jí)的粉塵排除。

  另外,氣相沉積爐計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)還有3臺(tái)加熱磁性調(diào)壓器,他們獨(dú)立工作,完成爐溫的控制。


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